エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEF-160

6インチ面発光フラットタイプ

用途

UVオゾン洗浄 ドライエッチング / ソフトアッシング UVアニール 表面改質 レジスト残渣除去 ガラス貼り合せ 光CVDなど成膜

仕様

波長172nm
照射開口167×167mm
最大照度40mW/cm2
分布±7%
ユーティリティN2、冷却水、AC200V
機能真空対応可能、照度モニタ、フィードバック制御
  • QEF-160外観図

    QEF-160外観図

  • QEF-160電源外観図

    QEF-160電源外観図