エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEF-1600

長尺タイプ面発光フラットタイプ

用途

表面洗浄 表面改質

仕様

波長172nm
照射長1570mm
照射幅72mm
最大照度180mW/cm2
分布±10%
ユーティリティCDA、N2、冷却水、AC200V
機能各種流量計、照度モニタ、フィードバック制御