エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEF-35NSVC

小型 / 実験用面発光フラットタイプ

用途

除電(真空専用)

仕様

波長172nm222nm
照射開口φ35mm
照度15mW/cm25mW/cm2
分布±7%
ユーティリティN2、AC100V
機能真空専用、ICFフランジ接続可能
  • 装置外観図

    装置外観図