エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEF-35ST

小型 / 実験用面発光フラットタイプ

用途

表面洗浄 成膜 バイオテクノロジー 太陽電池材料評価 酸化膜除去 表面改質

仕様

波長126nm172nm
照射開口φ35mm
最大照度5mW/cm270mW/cm2
分布±7%
ユーティリティN2、冷却水、AC100V
機能ICFフランジ接続可能
  • QEF-35ST外観

    QEF-35ST外観

  • QEF-35ST外観図

    QEF-35ST外観図