エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEF-600

長尺タイプ面発光フラットタイプ

用途

表面洗浄 表面改質

仕様

波長 172nm
照射長 620mm
照射幅 72mm
最大照度

180mW/cm2

分布 ±10%
ユーティリティ CDA、N2、冷却水、AC200V
機能 各種流量計、照度モニタ、フィードバック制御
  • QEF-600外観

    QEF-600外観