エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEV-230-4

8インチ管型チューブタイプ

用途

UVオゾン洗浄 ドライエッチング / ソフトアッシング UVアニール 表面改質 レジスト残渣除去 ガラス貼り合せ

仕様

波長172nm
ランプ本数4本
照射開口230×230mm
照度12mW/cm2
分布±15%
ユーティリティN2、冷却水、AC100V
  • QEV-230-4外観

    QEV-230-4外観

  • QEV-230-4電源外観

    QEV-230-4電源外観

  • QEV-230-4外観図

    QEV-230-4外観図

  • QEV-230-4電源外観図

    QEV-230-4電源外観図