エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

QEV-360-6

12インチ管型チューブタイプ

用途

UVオゾン洗浄 ドライエッチング / ソフトアッシング UVアニール 表面改質 レジスト残渣除去 ガラス貼り合せ 光CVDなど成膜

仕様

波長172nm
ランプ本数6本
照射開口340×340mm
照度12mW/cm2
分布±15%
ユーティリティN2、冷却水、AC100V
  • QEV-360-6外観

    QEV-360-6外観

  • QEV-360-6外観図

    QEV-360-6外観図