- 2009.06.05 新製品
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研究開発用エキシマ照射装置QEF35ST
照射エリアφ35mm ICF標準フランジによる各波長のVUVを照射
小型設計により低価格を実現
MgF2窓フランジによる真空プロセス対応
対応波長 126nm 146nm 172nm 193nm 222nm
（封入ガスによる切替）
株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。真空紫外光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなど新規ディスプレイの製造技術に導入させていただいております。
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