- 水銀を使用しない環境にやさしい産業機器
- LED紫外光源は、水銀ランプに比べ長寿命
- 当社紫外線は全て単色光で無駄な光がなく高効率
- 半導体製造装置関連での低温プロセスに最適な照射
- 真空紫外線など高エネルギーから通常の紫外線まで幅広い光源
- 用途にあわせた照射装置をカスタム設計
- 2011.07.15 新製品
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ナノインプリント用UV-LED照射装置
ナノインプリントは、石英など、テンプレートを基板に押し当てることでナノオーダの微細加工を実現する先端技術。近年、この技術をLSIやメモリなどの半導体製造に応用し、回路線幅の微細化と低コスト化を同時に実現しようとする試みが進められています。
紫外線照射エリア 200φmm
QEL200CI（365nm）照度100mW/cm2
QEL200CH（405nm）照度100mW/cm2
株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。真空紫外光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなど新規ディスプレイの製造技術に導入させていただいております。
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