- 紫外線による有機物洗浄、表面改質に必要な励起酸素原子を発生し、高光子エネルギーの真空紫光源のエキシマランプをはじめ低圧水銀ランプ、大気圧プラズマ装置を提供しております。
エキシマ紫外線照射装置
| 6インチ照射装置 | QEV160 | 照射エリア 176×176mm 出力 172nm:15mW/cm2 222nm:10mW/cm2 |
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| 6インチ高出力照射装置 | QEF160 | 照射エリア 167×167mm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:50mW/cm2 222nm:20mW/cm2 |
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| 8インチ照射装置 | QEV230 | 照射エリア 230×230mm 出力 172nm:15mW/cm2 222nm:10mW/cm2 |
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| 8インチ高出力照射装置 | QEF230 | 照射エリア 218×218mm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:50mW/cm2 222nm:20mW/cm2 |
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| 12インチ照射装置 | QEV360 | 照射エリア 320×320mm 出力 172nm:15mW/cm2 222nm:10mW/cm2 |
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| 300mm高出力照射装置 | QEF300 | 照射エリア 320×320mm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:50mW/cm2 222nm:20mW/cm2 |
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| TFT、PDP用 | QEX500 ～ QEX2000 |
照射最大長さ 2500mm 出力 172nm:50mW/cm2 |
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| エキシマランプ |  |
