株式会社クォークテクノロジー

エキシマ紫外線照射装置

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6インチエキシマ照射装置  QEV160

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ
  • 光CVDなど成膜

仕様

電源

定格電力 800W／1unit
供給電圧 AC100V±10Ｖ, 50Hz／60Hz
外形寸法 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 8kg

ランプハウス

ランプ ３本 波長 172nm 15mW/cm2
照射窓 176×176mm
外形寸法 232(W)×498(D)×289(H)mm
重量 10kg
冷却 市水 及び 窒素
MAIL
6インチエキシマ照射装置QEV160外観 6インチエキシマ照射装置
QEV160外観
6インチエキシマ照射装置QEV160電源
6インチエキシマ照射装置QEV160外観 QEV160外観図
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6インチエキシマ照射装置QEV160電源外観図 QEV160電源外観図
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6インチ高出力照射装置  QEF160

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ
  • 光CVDなど成膜

仕様

電源

定格電力 1KW／1unit
供給電圧 AC200V  3相
外形寸法 505(W)×545(D)×120(H)mm
重量 18kg
冷却 市水

ランプハウス

ランプ 波長172nm フラット型
照射強度 70mW/cm2 照度分布±5%
照射窓 167×167mm
外形寸法 568(W)×418(D)×161(H)mm
重量 12kg
冷却 窒素
機能

照度モニタ機能

出力制御機能

真空装置への設置が可能
新製品 出力波長126nm真空紫外線照射装置
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6インチ高出力照射装置QEF160外観 6インチ高出力照射装置
QEF160外観
6インチエキシマ照射装置QEF160電源
6インチ高出力照射装置QEF160外観 QEF160外観図
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6インチ高出力照射装置QEF160電源外観図 QEF160電源外観図
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