株式会社クォークテクノロジー

ドライプロセス装置用途紹介

ホーム 製品情報 ドライプロセス装置用途紹介

フラットパネル

用途

  • 各種工程内ドライ洗浄
  • LTPS RTA
  • COG前有機物洗浄
  • EL基板貼り合せ
フラットパネル

フォトマスク

用途

  • 検査前ドライ洗浄
  • フォトリソ前洗浄
  • レジスト残渣除去
フォトマスク

半導体

用途

  • ドライ洗浄
  • エッチング後のレジスト残渣除去
  • ドライアッシング、各種膜改質、アニール
  • Low-kキュア
半導体

その他

  • LED,LD、ポリイミド等
  • 環境関連
  • 医療
  • 太陽電池

用途

  • 表面活性、表面改質
  • ドライ洗浄、ボンディング前ドライ洗浄
  • 塩素系分解、炭酸ガス分解
  • 皮膚治療用光源
  • 金属酸化膜、多孔質膜、バインダ除去