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各種測定器

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非接触表面抵抗測定器

  • 非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能です。

特徴

渦電流磁界を用いた被接触式シート抵抗測定器
非接触、オンラインにて非導電性基板上の導電膜を測定
ITO等の透明電極や金属膜成膜プロセスのオンラインモニタリングに最適
既存成膜装置、搬送ラインへの組込が可能
多様なアプリケーションに対応可能
最大23mmの開口部により様々な基板（ガラス、プラスチックフィルム等）に対応
多チャンネル対応（1～99チャンネル）
常圧、真空下での稼動が可能
容易なキャリブレーションとメンテナンス
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非接触表面抵抗測定器

非接触、オンラインにて測定可能