株式会社クォークテクノロジー

エキシマ紫外線照射装置

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研究開発用エキシマ照射装置  QEF35ST

用途

  • 表面洗浄
  • 成膜
  • バイオテクノロジー
  • 太陽電池材料評価
  • 酸化膜除去
  • 表面改質

仕様

電源

定格電力 200W
供給電圧 AC100V
外形寸法 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 5kg

ランプハウス

ランプ TYPE1 126nm 5mW/cm2
TYPE2 172nm 30mW/cm2
TYPE3 193nm 15mW/cm2
TYPE4 222nm 15mW/cm2
照射窓 35φmm
外形寸法 180(W)×180(D)×400(H)mm
重量 6kg
冷却 市水 及び 窒素
＊波長126nmの場合Arガスの供給による照度5mW/cm2
MAIL
研究開発用エキシマ照射装置QEF35ST外観 研究開発用エキシマ照射装置
QEF35ST外観
研究開発用エキシマ照射装置QEF35ST外観 QEF35ST外観図
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