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エキシマ紫外線照射装置

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8インチエキシマ照射装置  QEV230

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ

仕様

電源

定格電力 1KW／1unit
供給電圧 AC100V
外形寸法 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 8kg

ランプハウス

ランプ 4本　波長172nm
照射強度 15mW/cm2 照度分布±15%
照射窓 230×230mm
外形寸法 418(W)×568(D)×289(H)mm
重量 18kg
冷却 市水 及び 窒素

  ※波長222nmの場合照射強度20mW/cm2
MAIL
8インチエキシマ照射装置QEV230外観 8インチエキシマ照射装置
QEV230外観
8インチエキシマ照射装置QEV230外観 QEV230外観図
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6インチエキシマ照射装置QEV160電源外観図 QEV230電源外観図
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8インチ高出力照射装置  QEF230

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ
  • 光CVDなど成膜

仕様

電源

定格電力 1.5KW／1unit
供給電圧 AC200V 3相
外形寸法 505(W)×545(D)×120(H)mm
重量 18kg
冷却 市水

ランプハウス

ランプ 波長172nm フラット型
照射強度 70mW/cm2 照度分布±5%
照射窓 218×218mm
外形寸法 500(W)×370(D)×170(H)mm
重量 12kg
冷却 窒素
機能

照度モニタ機能

出力制御機能

真空装置への設置が可能
新製品 出力波長126nm真空紫外線照射装置

  波長222nmの場合照射強度20mW/cm2
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8インチ高出力照射装置QEF230外観 8インチ高出力照射装置
QEF230外観
8インチ高出力照射装置QEF230外観 QEF230外観図
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6インチ高出力照射装置QEF160電源外観図 QEF230電源外観図
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