株式会社クォークテクノロジー

エキシマ紫外線照射装置

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4インチエキシマ照射装置  QEF100

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ
  • 光CVDなど成膜

仕様

電源

定格電力 500W
供給電圧 AC100V±10Ｖ, 50Hz／60Hz
外形寸法 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 8kg

ランプハウス

ランプ TYPE1 126nm 5mW/cm2
TYPE2 172nm 30mW/cm2
TYPE3 193nm 15mW/cm2
TYPE4 222nm 15mW/cm2
照射窓 100φmm
外形寸法 360(W)×300(D)×178(H)mm
重量 6kg
冷却 市水 及び 窒素
MAIL
4インチ照射装置QEF100外観
4インチ照射装置QEF100外観 4インチ照射装置
QEF100外観
4インチ照射装置QEF100電源
4インチ照射装置QEF100外観 QEF100外観図
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4インチ照射装置QEF100電源外観図 QEF100電源外観図
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