株式会社クォークテクノロジー

エキシマ紫外線照射装置

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12インチエキシマ照射装置  QEV360

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ
  • 光CVDなど成膜

仕様

電源

定格電力 1.5KW / 1unit
供給電圧 AC100V
外形寸法 480(W)×439(D)×300(H)mm
重量 15kg

ランプハウス

ランプ 6本 波長172nm
石英窓使用時 15mW/cm2
真空使用時 70mW/cm2
開口 340×340mm
外形寸法 600(W)×700(D)×375(H)mm
重量 38kg
冷却 市水 及び 窒素
MAIL
12インチエキシマ照射装置QEV360外観
12インチエキシマ照射装置
QEV360外観
12インチエキシマ照射装置QEV360外観図 QEV360外観図
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300mm高出力照射装置  QEF300

用途

  • UVオゾン洗浄
  • ドライエッチング / ソフトアッシング
  • UVアニール
  • 表面改質
  • レジスト残渣
  • ガラス貼り合せ
  • 光CVDなど成膜
  • 酸化膜の除去

仕様

電源

定格電力 2.5KW／1unit
供給電圧 AC200V 3相
外形寸法 430(W)×550(D)×220(H)mm
重量 32kg
冷却 市水

ランプハウス

ランプ 波長172nm フラット型
照射強度 70mW/cm2 照度分布±5%
照射窓 Φ320mm
外形寸法 600(W)×632(D)×280(H)mm
重量 70kg
冷却 市水 及び 窒素
機能

照度モニタ機能

出力制御機能

真空装置への設置が可能
新製品 出力波長126nm真空紫外線照射装置

  波長222nmの場合照射強度20mW/cm2
MAIL
300mm高出力照射装置QEF300外観
300mm高出力照射装置
QEF300外観
300mm高出力照射装置QEF300外観 QEF300外観図
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