紫外線照射装置の開発･製造･販売

用途

• UVオゾン洗浄
• ドライエッチング / ソフトアッシング
• UVアニール
• 表面改質
• レジスト残渣
• ガラス貼り合せ
• 光CVDなど成膜
• ロールTOロールフィルムの洗浄、改質

• + TFT ガラス洗浄
• + エッチング前洗浄
• + セル工程前洗浄
• + COG 工程前洗浄
• その他有機EL、PDPなど製造工程

仕様

2～3灯システム

6～12灯システム