- EXU-172HPは付属センサーにより172nmの波長照度を測定することができます。
特徴
- 172nmの計測に特化
- 高照度の測定が可能（0～120mW/c㎡）
- 簡単な操作
- コンパクトサイズ
用途
- 真空紫外線の計測
- エキシマランプのメンテナンス管理
本体仕様
| 表示 |
液晶デジタル表示 |
| 機能 |
リアルタイム照度測定 |
| 検出精度 |
±15％以内 |
| 出力 |
AD出力0～1V |
| 電源 |
DC6V（単三電池4本） |
| 動作温度 |
5～40℃ |
| 寸法(mm) |
191(W）×103（D）×35（H）
（本体コネクター、スイッチ及びセンサー部除く） |
| 重量 |
約400ｇ（電池含む） |
センサー部仕様
| 感度波長域 |
172nm |
| 受光部径(mm) |
Φ18 |
| 照度範囲 |
0～120mW/c㎡ |
| 動作温度 |
5～40℃ |
| 寸法(mm) |
Φ22×20.5(H) |
| 重量 |
約7g |
| センサーケーブル |
約1m(コネクター部含む) |
|
エキシマ紫外線強度モニタ
|
