エキシマ紫外線照射装置
| 研究開発用エキシマ照射装置 | QEF35ST | 照射エリア 35φmm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:30mW/cm2 193nm:15mW/cm2 222nm:15mW/cm2 |
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| 4インチ照射装置 | QEF100 | 照射エリア 100φmm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:30mW/cm2 193nm:15mW/cm2 222nm:15mW/cm2 |
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| 6インチ照射装置 | QEV160 | 照射エリア 176×176mm 出力 172nm:15mW/cm2 222nm:10mW/cm2 |
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| 6インチ高出力照射装置 | QEF160 | 照射エリア 167×167mm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:50mW/cm2 222nm:20mW/cm2 |
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| 8インチ照射装置 | QEV230 | 照射エリア 230×230mm 出力 172nm:15mW/cm2 222nm:10mW/cm2 |
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| 8インチ高出力照射装置 | QEF230 | 照射エリア 218×218mm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:50mW/cm2 222nm:20mW/cm2 |
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| 12インチ照射装置 | QEV360 | 照射エリア 340×340mm 出力 172nm:15mW/cm2 222nm:10mW/cm2 |
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| 300mm高出力照射装置 | QEF300 | 照射エリア Φ320mm 出力 126nm:5mW/cm2 172nm:50mW/cm2 222nm:20mW/cm2 |
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| フィルム、フラットパネル用 | QEX500 ～ QEX2000 |
照射最大長さ 2500mm 出力 172nm:50mW/cm2 |
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| エキシマランプ |  |
LED紫外線照射装置
| 紫外線LED P5 | 順電圧 3.8V 順電流 1.5A 放射束 150mW ピーク波長 367nm |
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| 面照射紫外線LED照射装置 | QEL-165 | 照射エリア 210×210mm 出力(選択可) 365nm:100mW/cm2 385nm:100mW/cm2 405nm:100mW/cm2 |
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| インライン用紫外線LED照射装置 | QEL-1200 | 照射エリア 14×300mm 出力(選択可) 365nm:100mW/cm2 385nm:100mW/cm2 405nm:100mW/cm2 |
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各種測定器
| 照度モニタ
エキシマ照射に対応した照度モニタ
172nm、222nm、365nm、385nm、405nmの照度測定が可能 |
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| 携帯式接触角計
表面の親水性を測定する小型携帯式の接触角計
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| 携帯式デジタルマイクロスコープ
倍率最大200倍のデジタルマイクロスコープ
パソコンへの画像取り込み画像評価などのソフト付 |
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| 非接触表面抵抗測定器
導電膜など表面の抵抗値を非接触で測定
ITO等の表面抵抗値を非接触で測定します。 |
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