Quarkは、面による発光ランプを実現しました
- 従来のエキシマ照射装置に比べ172nm照射光量３倍、照射強度３倍
- 半導体プロセスで必要な照度分布が従来の±15％を±5％まで高密度高分布を実現
- ランプハウスの構造を変え真空処理への対応も可能
エキシマランプを用いた研究結果を、当社との共同研究関連各所の協力によりダウンロードリンク集としてまとめました。
下記の論文のうち数本はこちらよりご覧いただくことができます。
下記の論文PDFをご覧になるには、アドビシステム社が配布しているAbobe Readerが必要です（無償）
| 真空紫外エキシマランプを用いたポリエチレンの表面改質 |  |
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| 真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理 | |
| 真空紫外エキシマランプを用いたポリビニルアルコール薄膜の表面改質 | |
| 真空紫外光照射によるゾル－ゲル薄膜の改質 | |
| キセノンエキシマ真空紫外光ランプの高出力化 | |
| 湿式プロセスにより作製したTiO2ゲル膜に対する光照射効果 | |
| 真空紫外光を用いたポリマーの改質と照射雰囲気効果 | |
| 真空紫外エキシマランプの現状とその産業的応用 | |
| 真空紫外エキシマランプを用いたペルヒドロポリシラザンによるシリカ薄膜の形成 | |
| VUVエキシマランプによる薄膜製造プロセスの可能性 | |
| 活性酸素種を用いてPETフィルムに形成したシリカ薄膜の評価 | |
| Preparation of Sol-Gel Derived TiO2 TF with VUV Irradiation by a Xe2* Excimer Lamp | 1 2 3 4 |
| Preparation of Properties of BiLaTiOFerroelectric TF with Excimer VUV Irradiation | 1 2 3 4 5 6 |
| Room Temp Photochem. Fab. of Silica Glass Coatings with Excimer VUV Lamps | 1 2 |
| Decomposition Test Result of Chlorine Organic Compound by 222nm Excimer Lamp | |
