エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

UV-Laser

LD固体レーザー

特徴

・コンパクト  発振器の筐体はコンパクト設計 ・低価格  エキシマレーザー等、他のUVレーザーに比べ低価格

用途

・微細加工 ・レーザーデボンディング ・レーザーリフトオフ ・マイクロビアホール穿孔 ・ポリイミドの切削および掘削

仕様

型式 QLA-263 QLA-355
発振波長

355nm

(YAG第3高調波)

263nm

(YLF第4高調波)

パルスエネルギー 400μJ 50μJ
繰り返し周波数 1Hz~300kHz ~4kHz
平均出力 15W @50kHz 250mW @1kHz
ビーム品質 TEM00  M2<1.3 TEM00  M2<1.3
電源 300W 100W
冷却方式 水冷 水冷

 

  • QLA-263

    QLA-263

  • QLA-263

    QLA-263