エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

UV-Laser

LD固体レーザー

特徴

・コンパクト  発振器の筐体はコンパクト設計 ・低価格  エキシマレーザー等、他のUVレーザーに比べ低価格

用途

・微細加工 ・レーザーデボンディング ・レーザーリフトオフ ・マイクロビアホール穿孔 ・ポリイミドの切削および掘削

仕様

型式QLA-355QLA-263
発振波長

355nm

263nm

パルスエネルギー400μJ50μJ
繰り返し周波数1Hz~300kHz~4kHz
平均出力15W @50kHz250mW @1kHz
ビーム品質TEM00  M2<1.3TEM00  M2<1.3
電源300W100W
冷却方式水冷水冷

 

  • QLA-263

    QLA-263

  • QLA-355

    QLA-355