准分子紫外线照明设备
准分子灯 特征
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高光子能量
直以来光清洗改质采用低压水银灯（波长185+254nm），与此相比，172nm可发出高能量的真空紫外光（UVU）
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低温处理
不会产生红外线、处理时间短，可达到低温处理
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瞬时亮灯灭灯
因为可以瞬间亮灯和灭灯，所以不需要遮蔽
因为不需要常开，所以不需要长时间使用
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不含水银
此灯不使用水银
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光谱数据
准单色光（172nm）
平面型 特征
本公司独有技术，高照度、高均一性照射
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高照度
因为是整面全体发光的特殊灯，所以照射光量高、可以高照度照射
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高分布
±5～10%以下没有mura、均一照射
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照度稳定
以往的灯随着温度的上升照度也会变低，我们采用监控来反馈照度值的方式可以稳定照射
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灯的更换
灯更换时候可单独更换灯或整组灯更换方式，可以简单操作完成更换
管状灯 特征
准分子灯的标准型
灯的数量和长度另行商议
准分子灯Lineup
平面型
| Semiconductor | QEF-300SPC | QEF-230SPC | QEF-160 | QEF-100 | QEF-35ST | QEF-35ST-V126 |
| 波长 | 172nm | 126nm | ||||
| Utility | N2/冷却水/AC100～240V | |||||
| 均匀度 | ±5% | ±7% | ||||
| 照射开口 | φ332mm | 218×218mm | 167×167mm | φ100mm | φ35mm | φ35mm |
| 对应产品尺寸 | 12inch | 8inch | 6inch | 4inch | – | – |
| 照度（窗面最大） | 80mW/cm² | 80mW/cm² | 30mW/cm² | 30mW/cm² | 5mW/cm² | 5mW/cm² |
| FPD | QEF-1600 | QEF-600 | QEF-320 |
| 波长 | 172nm | ||
| Utility | N2/冷却水/AC100～240V | ||
| 均匀度 | ±10% | ||
| 照射开口 | 70×1570mm | 70×620mm | 70×312mm |
| 对应产品尺寸 | G6 | G3 | – |
| 照度（管面最大） | 180mW/cm² | 180mW/cm² | 100mW/cm² |
管状灯
| Semiconductor | QEV-360 | QEV-230 | QEV-160 |
| 波长 | 172nm | ||
| Utility | N2/冷却水/AC100～240V | ||
| 均匀度 | ±15% | ||
| 照射开口 | 340×340mm | 216×216mm | 176×176mm |
| 对应产品尺寸 | 12inch | 8inch | 6inch |
| 照度（窗面最大） | 15mW/cm² | ||
| FPD | QEV-1200 | QEV-850 | QEV-750 | QEV-150 |
| 波长 | 172nm | |||
| Utility | N2/冷却水/AC100～240V | N2/AC100～240V | ||
| 均匀度 | ±15% | |||
| 照射开口 | 25×1200mm | 25×850mm | 25×750mm | 25×172mm |
| 对应产品尺寸 | 幅1200mm | 幅850mm | 幅750mm | 幅150mm |
| 照度（管面最大） | 50mW/cm² | |||