20年以上のキャリアで半導体およびFPDと共に進化し続けています
UV光源専門メーカーとして水銀フリーを掲げUV光源をご提供いたします
ウェハ洗浄
マスク洗浄
レジストアッシング
コータ前処理
露光光源
ガラス基板洗浄
ポリマ表面改質
コーティング前処理
貼り合わせ前処理
材料の表面洗浄、表面改質
UV硬化
オゾン生成
除電
密着性向上
レーザーデボンディング
レジスト除去または改質
フィルムガラス剥離(LLO)
ITOの除去
マイクロビアホールの穿孔
ポリイミドの切削および掘削
レジスト改質
ナノインプリント用光源
ダイシングテープ剥離
貼り合わせUV硬化
UVインク硬化
殺菌
新機能材料展2019に出展いたします。
特定水銀使用製品の製造等に係る規制について
深紫外 280nm UV-LED照射装置
285nm照度 100mW/cm2を達成いたしました。 深紫外265~300nmまで取り揃えております。
フラット型エキシマUV照射装置
液晶用などG11まで対応したフラット型装置です。 照度180mW/cm2 照射幅70mm 対応サイズ:G2~11