高照度・高均一の産業向けエキシマランプ 有機物除去・表面改質・アッシング・除電など表面の前処理 ウェハ、フォトマスク、ガラス、基板など
除菌用エキシマランプ「eVIO -エヴィオ-」人がいる環境下で使用できる空間、物体表面を除菌する最先端の紫外線ライト
265～405nmまでカスタマイズ可能なUV-LED照射装置UV硬化・ダイシングテープ剥離・ブリーチング・分析/検査用光源 ウェハ、基板、フィルム、検査機など
レーザー発振器～光学系部材までシステムで提供レーザーリフトオフ（WLP,PLP)・フレキシブル材微細加工・レジスト除去・マイクロビアホール穿孔(TGV)
