株式会社クォークテクノロジー
紫外線照射装置

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エキシマランプをはじめ各種紫外線ランプから大気圧プラズマ装置まで、当社紫外線照射装置は、光洗浄、表面改質、成膜などの用途に使用されております。真空紫外光源では研究開発当初から多くのデータと実績があり液晶、半導体製造装置から各種材料改質まで幅広くご利用いただいております。
エキシマ照射装置 エキシマランプ
低圧水銀ランプ 大気圧プラズマ装置
照度モニタ

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250nm以上の可視光を検知しないエキシマ真空紫外用照度モニターです。
172nm用照度モニタ 222nm用照度モニタ
表面検査装置

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表面親水性を測定する為に開発された小型軽量で携帯型接触角計です。パソコンとの接続で画像をはじめ各種データ管理が可能となります。
ドライプロセス装置

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半導体製造装置を中心に当社紫外線光源を用いた製造プロセスのご紹介。
フラットパネルディスプレイ フォトマスク
半導体 その他材料

新着情報

2009.06.05 新製品

研究開発用エキシマ照射装置QEF35ST

照射エリアφ35mm　ICF標準フランジによる各波長のVUVを照射

小型設計により低価格を実現

MgF2窓フランジによる真空プロセス対応

対応波長 126nm 146nm 172nm 193nm 222nm

（封入ガスによる切替） 照射エリアφ35mm　研究開発用エキシマ照射装置 QEF35ST
株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器(紫外線照射装置・エキシマ照射装置・エキシマランプ)の製造販売を行っております。真空紫外光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなど新規ディスプレイの製造技術に導入させていただいております。
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本社工場
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岡山県井原市木之子町167
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湘南営業所
〒253-0044
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