紫外線照射機器トータルシステムの開発・製造・販売

 

高照度・高均一の産業向けエキシマランプ
有機物除去・表面改質・アッシング・除電など表面の前処理  ウェハ、フォトマスク、ガラス、基板など
 
除菌用エキシマランプ「eVIO -エヴィオ-」
人がいる環境下で使用できる空間、物体表面を除菌する最先端の紫外線ライト
 265~405nmまでカスタマイズ可能なUV-LED照射装置
UV硬化・ダイシングテープ剥離・ブリーチング・分析/検査用光源   ウェハ、基板、フィルム、検査機など
 
レーザー発振器~光学系部材までシステムで提供
レーザーリフトオフ(WLP,PLP)・フレキシブル材微細加工・レジスト除去・マイクロビアホール穿孔(TGV)    

 紫外線波長から選ぶ

  • 100nmVUV
  • 200nmUV-C
  • 270nmUV-B
  • 330nmUV-A
  • 400nm可視光
  1. 126nm
  2. 172nm
  3. 222nm 265nm
  4. 275nm285nm
  5. 300nm 310nm 325nm
  6. 340nm
  7. 355nm 365nm
  8. 385nm 395nm
  9. 405nm