エキシマUV照射装置･UV-LED照射装置の開発･製造･販売

当社紫外線照射装置の特徴

  • 水銀を使用しない環境にやさしい産業機器
  • 半導体製造装置関連での低温プロセスに最適な照射
  • LED紫外光源は、水銀ランプに比べ長寿命
  • 真空紫外線など高エネルギーから通常の紫外線まで幅広い光源
  • 当社紫外線は全て単色光で無駄な光がなく高効率
  • 用途にあわせた照射装置をカスタム設計

用途から選ぶ

分野 表面改質（洗浄） その他
半導体 ウェハ洗浄
レジストアッシング
レジストコータ前処理		 酸化膜の成膜
レジスト改質
帯電除去
液晶 ガラス等基板洗浄
COG洗浄		 有機膜除去
ITO膜質改善
フォトマスク マスク洗浄 帯電除去
フィルム 表面親水性向上
ポリマ表面改質		 帯電除去
界面異常抑制
電子部品実装 実装前の表面洗浄 有機物除去、密着性向上
ケミカル 材料の洗浄
親水性向上
UV硬化樹脂の硬化		 殺菌/除菌
材料改質
オゾン生成

紫外線波長から選ぶ

  • 100nmVUV
  • 200nmUV-C
  • 270nmUV-B
  • 330nmUV-A
  • 400nm可視光
  1. 126nm
  2. 172nm
  3. 222nm
  4. 265nm
  5. 285nm
  6. 300nm
  7. 365nm
  8. 385nm
  9. 395nm
  10. 405nm

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