エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

当社紫外線照射装置の特徴

  • 水銀を使用しない環境にやさしい産業機器
  • 半導体製造装置関連での低温プロセスに最適な照射
  • LED紫外光源は、水銀ランプに比べ長寿命
  • 真空紫外線など高エネルギーから通常の紫外線まで幅広い光源
  • 当社紫外線は全て単色光で無駄な光がなく高効率
  • 用途にあわせた照射装置をカスタム設計

紫外線波長から選ぶ

  • 100nmVUV
  • 200nmUV-C
  • 270nmUV-B
  • 330nmUV-A
  • 400nm可視光
  1. 126nm
  2. 172nm
  3. 222nm
  4. 265nm
  5. 285nm
  6. 300nm
  7. 365nm
  8. 385nm
  9. 395nm
  10. 405nm

ニュース