エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

当社紫外線照射装置の特徴

  • 水銀を使用しない環境にやさしい産業機器
  • 低温プロセスに最適なUV照射 エキシマランプ・UV LED
  • 当社紫外線LEDは、水銀ランプに比べ長寿命
  • 真空紫外線など高エネルギーから通常の紫外線まで幅広い光源
  • 当社UV光源は全て単色光で無駄な光がなく高効率
  • 用途にあわせた照射装置をカスタム設計(SEMI S2準拠)

紫外線波長から選ぶ

  • 100nmVUV
  • 200nmUV-C
  • 270nmUV-B
  • 330nmUV-A
  • 400nm可視光
  1. 126nm
  2. 172nm
  3. 265nm
  4. 275nm 280nm 285nm
  5. 300nm 310nm 325nm
  6. 340nm
  7. 365nm
  8. 385nm 395nm
  9. 405nm

ニュース