エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

当社エキシマランプ優位性

面による発光エキシマランプを実現しました

  • 従来のチューブタイプエキシマランプに比べ172nm照度 3倍
  • 照度分布がチューブタイプ±15%に対し±7%を実現
  • ランプハウスの構造を変えることにより真空対応可能