エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

世界初「面発光フラットタイプ」エキシマ

Quarkは、面による発光ランプを実現しました

  • 従来のチューブタイプエキシマに比べ172nm照度 3倍
  • 照度分布がチューブタイプ±15%に対し±7%を実現
  • ランプハウスの構造を変えることにより真空対応可能