UV-Laser

UV-Laserの特徴

• コンパクトな発振器
• エキシマレーザー等他のUVレーザーに比べ低価格
• レーザー発振器単体以外に光学系を含めたシステムとしても提供

355nmパフォーマンス特性

LLOポリイミドダメージ比較

この事業はKEIRINの補助を受け実施しました。

 

用途

• レーザーデボンディング
• レーザーリフトオフ（LLO）
• ITOの除去
• マイクロビアホール穿孔
• ポリイミドの切削および掘削
• 分析/分光

UV-Laserラインナップ

	QLA-355	QLA-266
波長	355nm	266nm
平均出力	15W@50kHz	2.5W@30kHz
最大パルスエネルギー	400μJ	90μJ
最短パルス幅	<8ns	<7ns
ビーム品質	TEM00  M2<1.3	TEM00  M2<1.5
ビーム径	～0.8mm	～0.8mm
消費電力	300W	300W