UV-Laser
UV-Laserの特徴
- コンパクトな発振器
- エキシマレーザー等他のUVレーザーに比べ低価格
- レーザー発振器単体以外に光学系を含めたシステムとしても提供
355nmパフォーマンス特性
LLOポリイミドダメージ比較
この事業はKEIRINの補助を受け実施しました。
用途
- レーザーデボンディング
- レーザーリフトオフ(LLO)
- ITOの除去
- マイクロビアホール穿孔
- ポリイミドの切削および掘削
- 分析/分光
UV-Laserラインナップ
QLA-355 | QLA-266 | |
波長 | 355nm | 266nm |
平均出力 | 15W@50kHz | 2.5W@30kHz |
最大パルスエネルギー | 400μJ | 90μJ |
最短パルス幅 | <8ns | <7ns |
ビーム品質 | TEM00 M2<1.3 | TEM00 M2<1.5 |
ビーム径 | ~0.8mm | ~0.8mm |
消費電力 | 300W | 300W |