紫外線照射機器トータルシステムの開発・製造・販売

UV-Laser

外観

UV-Laserの特徴

            • コンパクトな発振器
            • エキシマレーザー等他のUVレーザーに比べ低価格
            • レーザー発振器単体以外に光学系を含めたシステムとしても提供

ガルバノシステム

355nmパフォーマンス特性

LLOポリイミドダメージ比較

LLOダメージ比較

JKA補助金

この事業はKEIRINの補助を受け実施しました。

 

用途

  • レーザーデボンディング
  • レーザーリフトオフ(LLO)
  • ITOの除去
  • マイクロビアホール穿孔
  • ポリイミドの切削および掘削
  • 分析/分光

UV-Laserラインナップ

   QLA-355 QLA-266
波長 355nm 266nm
平均出力 15W@50kHz 2.5W@30kHz
最大パルスエネルギー 400μJ 90μJ
最短パルス幅 <8ns <7ns
ビーム品質 TEM00  M2<1.3 TEM00  M2<1.5 
ビーム径  ~0.8mm ~0.8mm 
消費電力  300W 300W