紫外線照射機器トータルシステムの開発・製造・販売

エキシマ照射装置

エキシマランプ 特徴

  • 高フォトンエネルギー

    従来の光洗浄改質で用いられてきた低圧水銀ランプ(波長185+254nm)に比べ、フォトンエネルギーが高い172nmの真空紫外光(UVU)を発します。

  • 低温処理

    赤外線を発さず、処理時間が短く済むため低温で処理ができます。

  • 瞬時点灯消灯

    瞬間的に点灯と消灯ができるため、シャッターなど不要です。

    常時点灯する必要がないため、長くランプを使用できます。

  • 水銀フリー

    ランプに水銀を使用していません。

  • スペクトルデータ

    準単色光(172nm)

フラットタイプ 特徴

弊社独自技術により、高照度、高均一照射が可能なランプです。

タクトや歩留まり向上が期待できます。

  • 高照度

    面全体が発光する特殊なランプなため、照射光量も高く、高照度で照射することができます。

  • 高分布

    ±5~10%以下でムラなく均一に照射することができます。

  • 照度安定

    従来のランプは温度上昇とともに照度が低下しますが、照度値を監視しフィードバックすることにより安定した照度を照射することができます。

  • ランプ交換

    ランプ交換はランプ単体もしくはランプ交換ユニットとして交換するため、比較的簡単に交換することができます。

チューブタイプ 特徴

  

エキシマランプのスタンダードタイプです。

ランプ灯数と長さを用途別に組み合わせます。

エキシマランプラインナップ

フラットタイプ
Semiconductor QEF-300SPC QEF-230SPC QEF-160 QEF-100 QEF-35ST QEF-35ST-V126
波長 172nm 126nm
ユーティリティ N2/冷却水/AC100~240V
分布 ±5% ±7%
照射開口 φ332mm 218×218mm 167×167mm φ100mm φ35mm φ35mm
対応ワークサイズ 12inch 8inch 6inch 4inch
照度(窓面最大) 80mW/cm² 80mW/cm² 30mW/cm² 30mW/cm² 5mW/cm² 5mW/cm²
 

 FPD QEF-1600 QEF-600 QEF-320
波長 172nm
ユーティリティ N2/冷却水/AC100~240V
分布 ±10%
照射開口 70×1570mm 70×620mm 70×312mm
対応ワークサイズ G6 G3
照度(管面最大) 180mW/cm² 180mW/cm² 100mW/cm²

 

 

チューブタイプ
Semiconductor QEV-360 QEV-230 QEV-160
波長 172nm
ユーティリティ N2/冷却水/AC100~240V
分布 ±15%
照射開口 340×340mm 216×216mm 176×176mm
対応ワークサイズ 12inch 8inch 6inch
照度(窓面最大) 15mW/cm²
 

 FPD QEV-1200 QEV-850 QEV-750 QEV-150
波長 172nm
ユーティリティ N2/冷却水/AC100~240V N2/AC100~240V
分布 ±15%
照射開口 25×1200mm 25×850mm 25×750mm 25×172mm 
対応ワークサイズ 幅1200mm 幅850mm 幅750mm 幅150mm 
照度(管面最大) 50mW/cm²

 

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