エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

エキシマランプ 特徴

  • 高フォトンエネルギー

    従来の光洗浄改質で用いられてきた低圧水銀ランプ(波長185+254nm)に比べ、フォトンエネルギーが高い172nmの真空紫外光(UVU)を発します。

  • 低温処理

    赤外線を発さず、処理時間が短く済むため低温で処理ができます。

  • 瞬時点灯消灯

    瞬間的に点灯と消灯ができるため、シャッターなど不要です。

    常時点灯する必要がないため、長くランプを使用できます。

  • 水銀フリー

    ランプに水銀を使用していません。

  • スペクトルデータ

    準単色光(172nm)

フラットタイプ 特徴

弊社独自技術により、高照度、高均一照射が可能なランプです。

タクトや歩留まり向上が期待できます。

  • 高照度

    面全体が発光する特殊なランプなため、照射光量も高く、高照度で照射することができます。

  • 高分布

    ±5~10%以下でムラなく均一に照射することができます。

  • 照度安定

    従来のランプは温度上昇とともに照度が低下しますが、照度値を監視しフィードバックすることにより安定した照度を照射することができます。

  • ランプ交換

    ランプ交換はランプ単体もしくはランプ交換ユニットとして交換するため、比較的簡単に交換することができます。

チューブタイプ 特徴

  

エキシマランプのスタンダードタイプです。

ランプ灯数と長さを用途別に組み合わせます。

エキシマランプラインナップ

フラットタイプ製品インデックス
タイプ 型式 仕様 図面
波長
(mm)
照射開口
(mm)
照度
(mW/cm2)
分布
(%)
ユーティリティ
バッチ
照射
QEF-35ST 126 φ35 5 5 Arガス、冷却水、
窒素、AC
PDF
172 30 冷却水、窒素、
AC
PDF
QEF-100 φ100 40 PDF
QEF-160 167×167 40 PDF
QEF-230SPC 218×218 50 PDF
QEF-A4 220×310 40 PDF
QEF-300SPC φ320 80 PDF
スキャン
照射
QEF-600 620×70 180 10 PDF
QEF-1200 1140×70 PDF
QEF-1600 1170×70 PDF
QEF-3200 3100×70 PDF

 

面発光フラットタイプ

  • QEF-35ST

    小型 / 実験用
    照射開口
    φ35mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:最大70mW/cm2
    QEF-35ST外観
  • QEF-100

    4インチ
    照射開口
    φ100mm
    出力
    172nm:最大70mW/cm2
    QEF-100外観
  • QEF-160

    6インチ
    照射開口
    167×167mm
    出力
    172nm:最大40mW/cm2
    QEF-160外観図
  • QEF-230SPC

    8インチ
    照射開口
    218×218mm
    出力
    172nm:最大50mW/cm2
    QEF-230SPC外観
  • QEF-A4

    A4サイズ
    照射開口
    220×310mm
    出力
    172nm:最大70mW/cm2
    QEF-A4外観
  • QEF-300SPC

    12インチ
    照射開口
    φ332mm
    出力
    172nm:最大80mW/cm2
    QEF-300外観
  • QEF-600

    長尺タイプ
    照射開口
    620× 72mm
    出力
    172nm:最大180mW/cm2
    QEF-600外観
  • QEF-1200

    長尺タイプ
    照射開口
    1141× 72mm
    出力
    172nm:最大180mW/cm2
  • QEF-1600

    長尺タイプ
    照射開口
    1570× 72mm
    出力
    172nm:最大180mW/cm2
  • QEF-3200

    長尺タイプ
    照射開口
    3100× 72mm
    出力
    172nm:最大180mW/cm2

管型チューブタイプ

  • QEV-150

    小型 / 実験用
    照射開口
    170×25mm
    出力
    172nm:60mW/cm2
    QEV-150外観
  • QEV-230-3

    6インチ
    照射開口
    176×176mm
    出力
    172nm:12mW/cm2
    QEV-230-3外観
  • QEV-230-4

    8インチ
    照射開口
    230×230mm
    出力
    172nm:12mW/cm2
    QEV-230-4外観
  • QEV-360-6

    12インチ
    照射開口
    340×340mm
    出力
    172nm:12mW/cm2
    QEV-360-6外観