エキシマUV照射装置・UV-LED照射装置の開発・製造・販売

エキシマUV照射装置

面発光フラットタイプ 特徴

  • 従来のエキシマ照射装置に比べ172nm照射光量3倍、照射強度3倍
  • 半導体プロセスで必要な照度分布が従来の±15%を±7%まで高密度高分布を実現
  • ランプハウスの構造を変え真空処理への対応も可能

管型チューブタイプ 特徴

  • 準単色光(準単色光は、エネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。従って、低温での表面処理が可能になりました。)
  • 波長172nmのエキシマ光を発光(エキシマランプは、従来の光洗浄改質で用いられてきた水銀ランプ(波長185nmと254nm)に比べるとフォトンエネルギーが高い波長172nmの真空紫外光(VUV)を発生します。※172nm以外にも126,222nmが選択出来ます。)
  • 瞬時点灯点滅(エキシマランプは、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。この特性を利用することによりドライ洗浄にて、ワーク搬送時、ワークだけに照射できると同時に、実際のランプ寿命は連続点灯に比べて長くなりました。)
  • 高効率洗浄によりコンベア搬送中照射も可能
  • 低圧水銀ランプに比べ、ランプ本数低減、付帯設備不要
  • コンパクト設計によりメンテナンス性向上

ラインナップ

面発光フラットタイプ

  • QEF-35ST

    小型 / 実験用
    照射開口
    φ35mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:15mW/cm2 222nm:5mW/cm2
    QEF-35ST外観
  • QEF-35NSVC

    小型 / 実験用
    照射開口
    φ35mm
    出力
    真空用除電
    装置外観図
  • QEF-100

    4インチ
    照射開口
    φ100mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:25mW/cm2 222nm:10mW/cm2
    QEF-100外観
  • QEF-160

    6インチ
    照射開口
    167×167mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:30mW/cm2 222nm:15mW/cm2
    QEF-160外観
  • QEF-230

    8インチ
    照射開口
    218×218mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:30mW/cm2 222nm:15mW/cm2
    QEF-230外観
  • QEF-A4

    A4サイズ
    照射開口
    220×310mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:30mW/cm2 222nm:15mW/cm2
    QEF-A4外観
  • QEF-300

    12インチ
    照射開口
    φ332mm
    出力
    126nm:5mW/cm2 172nm:30mW/cm2 222nm:15mW/cm2
    QEF-300外観
  • QEF-400

    長尺タイプ
    照射開口
    420× 72mm
    出力
    172nm:170mW/cm2
  • QEF-600

    長尺タイプ
    照射開口
    620× 72mm
    出力
    172nm:170mW/cm2
    QEF-600外観
  • QEF-1200

    長尺タイプ
    照射開口
    1141× 72mm
    出力
    172nm:170mW/cm2
  • QEF-1600

    長尺タイプ
    照射開口
    1570× 72mm
    出力
    172nm:170mW/cm2
  • QEF-2300

    長尺タイプ
    照射開口
    2240× 72mm
    出力
    172nm:170mW/cm2
  • QEF-3200

    長尺タイプ
    照射開口
    3100× 72mm
    出力
    172nm:170mW/cm2

管型チューブタイプ

  • QEV-230-3

    6インチ
    照射開口
    176×176mm
    出力
    172nm:12mW/cm2 222nm:5mW/cm2
    QEV-230-3外観
  • QEV-230-4

    8インチ
    照射開口
    230×230mm
    出力
    172nm:12mW/cm2 222nm:5mW/cm2
    QEV-230-4外観
  • QEV-360-4

    A4サイズ
    照射開口
    230×230mm
    出力
    172nm:12mW/cm2 222nm:5mW/cm2
  • QEV-360-6

    12インチ
    照射開口
    340×340mm
    出力
    172nm:12mW/cm2 222nm:5mW/cm2
    QEV-360-6外観
  • QEV-500

    長尺タイプ
    照射開口
    515×25mm
    出力
    172nm:60mW/cm2
  • QEV-750

    長尺タイプ
    照射開口
    785×25mm
    出力
    172nm:60mW/cm2
  • QEV-1200

    長尺タイプ
    照射開口
    1182×25mm
    出力
    172nm:60mW/cm2