紫外線照射機器トータルシステムの開発・製造・販売

准分子紫外线照明设备

准分子灯 特征

  • 高光子能量

    直以来光清洗改质采用低压水银灯(波长185+254nm),与此相比,172nm可发出高能量的真空紫外光(UVU)

  • 低温处理

    不会产生红外线、处理时间短,可达到低温处理

  • 瞬时亮灯灭灯

    因为可以瞬间亮灯和灭灯,所以不需要遮蔽

    因为不需要常开,所以不需要长时间使用

  • 不含水银

    此灯不使用水银

  • 光谱数据

    准单色光(172nm)

平面型 特征

本公司独有技术,高照度、高均一性照射

  • 高照度

    因为是整面全体发光的特殊灯,所以照射光量高、可以高照度照射

  • 高分布

    ±5~10%以下没有mura、均一照射

  • 照度稳定

    以往的灯随着温度的上升照度也会变低,我们采用监控来反馈照度值的方式可以稳定照射

  • 灯的更换

    灯更换时候可单独更换灯或整组灯更换方式,可以简单操作完成更换

管状灯 特征

  

准分子灯的标准型

灯的数量和长度另行商议

准分子灯Lineup

平面型
Semiconductor QEF-300SPC QEF-230SPC QEF-160 QEF-100 QEF-35ST QEF-35ST-V126
波长 172nm 126nm
Utility N2/冷却水/AC100~240V
均匀度 ±5% ±7%
照射开口 φ332mm 218×218mm 167×167mm φ100mm φ35mm φ35mm
对应产品尺寸 12inch 8inch 6inch 4inch
照度(窗面最大) 80mW/cm² 80mW/cm² 30mW/cm² 30mW/cm² 5mW/cm² 5mW/cm²
 
 FPD QEF-1600 QEF-600 QEF-320
波长 172nm
Utility N2/冷却水/AC100~240V
均匀度 ±10%
照射开口 70×1570mm 70×620mm 70×312mm
对应产品尺寸 G6 G3
照度(管面最大) 180mW/cm² 180mW/cm² 100mW/cm²

 

 

管状灯
Semiconductor QEV-360 QEV-230 QEV-160
波长 172nm
Utility N2/冷却水/AC100~240V
均匀度 ±15%
照射开口 340×340mm 216×216mm 176×176mm
对应产品尺寸 12inch 8inch 6inch
照度(窗面最大) 15mW/cm²
 
 FPD QEV-1200 QEV-850 QEV-750 QEV-150
波长 172nm
Utility N2/冷却水/AC100~240V N2/AC100~240V
均匀度 ±15%
照射开口 25×1200mm 25×850mm 25×750mm 25×172mm 
对应产品尺寸 幅1200mm 幅850mm 幅750mm 幅150mm 
照度(管面最大) 50mW/cm²