准分子UV照射装置・UV-LED照射装置的开发・制造・贩卖

准分子紫外线照明设备

面发光平板型 特点

  • 従来のエキシマ照射装置に比べ172nm照射光量3倍、照射強度3倍
  • 半導体プロセスで必要な照度分布が従来の±15%を±7%まで高密度高分布を実現
  • ランプハウスの構造を変え真空処理への対応も可能

管型 特点

  • 準単色光(準単色光は、エネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。従って、低温での表面処理が可能になりました。)
  • 波長172nmのエキシマ光を発光(エキシマランプは、従来の光洗浄改質で用いられてきた水銀ランプ(波長185nmと254nm)に比べるとフォトンエネルギーが高い波長172nmの真空紫外光(VUV)を発生します。※172nm以外にも126,193,222,308nmが選択出来ます。)
  • 瞬時点灯点滅(エキシマランプは、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。この特性を利用することによりドライ洗浄にて、ワーク搬送時、ワークだけに照射できると同時に、実際のランプ寿命は連続点灯に比べて長くなりました。)
  • 高効率洗浄によりコンベア搬送中照射も可能
  • 低圧水銀ランプに比べ、ランプ本数低減、付帯設備不要
  • コンパクト設計によりメンテナンス性向上

ラインナップ

面发光平板型

  • QEF-35ST

    小型/试验用
    照射开口
    φ35mm
    输出
    126nm:5mW/cm2 172nm:15mW/cm2
    QEF-35ST外观
  • QEF-100

    4英寸
    照射开口
    φ100mm
    输出
    172nm:25mW/cm2
    QEF-100外观
  • QEF-160

    6英寸
    照射开口
    167×167mm
    输出
    172nm:70mW/cm2
    QEF-160外观
  • QEF-230

    8英寸
    照射开口
    218×218mm
    输出
    172nm:70mW/cm2
    QEF-230外观
  • QEF-A4

    A4尺寸
    照射开口
    220×310mm
    输出
    172nm:30mW/cm2
    QEF-A4外观
  • QEF-300

    12英寸
    照射开口
    φ332mm
    输出
    172nm:70mW/cm2
    QEF-300外观
  • QEF-600

    长尺型
    照射开口
    620× 72mm
    输出
    172nm:180mW/cm2
    QEF-600外観
  • QEF-1200

    长尺型
    照射开口
    1141× 72mm
    输出
    172nm:180mW/cm2
  • QEF-1600

    长尺型
    照射开口
    1570× 72mm
    输出
    172nm:180mW/cm2
  • QEF-3200

    长尺型
    照射开口
    3100× 72mm
    输出
    172nm:180mW/cm2

管型

  • QEV-150

    小型/试验用
    照射开口
    170×25mm
    输出
    172nm:60mW/cm2
    QEV-150外观
  • QEV-230-3

    6英寸
    照射开口
    176×176mm
    输出
    172nm:12mW/cm2
    QEV-230-3外观
  • QEV-230-4

    8英寸
    照射开口
    230×230mm
    输出
    172nm:12mW/cm2
    QEV-230-4外观
  • QEV-360-6

    12英寸
    照射开口
    340×340mm
    输出
    172nm:10mW/cm2
    QEV-360-6外观