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准分子紫外线照明设备

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  • 通过使用高能量真空紫外线的准分子灯,产生有机洗净、表面改性所需要的激化氧化物原子、使用于以半导体为代表的各种胶片表面改性设备上


准分子紫外线照明设备

用于研究开发的准分子照明设备 QEF35ST 照明区域
35φmm
输出
126nm:5mW/cm2
172nm:15mW/cm2
193nm:10mW/cm2
222nm:10mW/cm2
4英寸照明设备 QEF100 照明区域
100φmm
输出
126nm:5mW/cm2
172nm:25mW/cm2
193nm:10mW/cm2
222nm:10mW/cm2
6英寸照明设备 QEV160 照明区域
176×176mm
输出
172nm:10mW/cm2
222nm:10mW/cm2
6英寸高输出照明设备 QEF160 照明区域
167×167mm
输出
126nm:5mW/cm2
172nm:30mW/cm2
222nm:15mW/cm2
8英寸照明设备 QEV230 照明区域
230×230mm
输出
172nm:10mW/cm2
222nm:10mW/cm2
8英寸高输出照明设备 QEF230 照明区域
218×218mm
输出
126nm:5mW/cm2
172nm:30mW/cm2
222nm:15mW/cm2
12英寸照明设备 QEV360 照明区域
320×320mm
输出
172nm:10mW/cm2
222nm:10mW/cm2
300mm高输出照明设备 QEF300 照明区域
320×320mm
输出
126nm:5mW/cm2
172nm:30mW/cm2
222nm:15mW/cm2
胶片、平板触摸屏用 QEX500

QEX1600
最大照明长度
1600mm
輸出
嵌入式类型
172nm:70mW/cm2
成批处理类型
172nm:10mW/cm2
准分子灯