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准分子紫外线照明设备

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12英寸准分子照明设备  QEV360

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻 / 软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合
  • CVD光等的成膜

规格

电源

设定功率 1.5KW / 1unit
电源电压 AC100V
外形尺寸 480(W)×439(D)×300(H)mm
重量 15kg

灯箱

灯光 6条 波长172nm
用于石英窗 10mW/cm2
用于真空时 60mW/cm2
开口 340×340mm
外形尺寸 600(W)×700(D)×375(H)mm
重量 38kg
冷却 自来水 以及 氮气
MAIL
12英寸照明设备QEV360外观
12英寸照明设备
QEV360外观
12英寸照明设备QEV360外观図 QEV360外观图
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300mm高输出照明设备  QEF300

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻 / 软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合
  • CVD光等的成膜
  • 去除酸化膜

规格

电源

设定功率 1.2KW／1unit
电源电压 AC200V 3相
外形尺寸 430(W)×550(D)×220(H)mm
重量 32kg
冷却 自来水

灯箱

灯光 172nm波长平板型
照明强度 空气30mW/cm2
真空100mW/cm2
照明分布±5%
照明窗 Φ320mm
外形尺寸 600(W)×632(D)×280(H)mm
重量 70kg
冷却 自来水 以及 氮气
功能

照明度显示屏功能

输出控制功能

可以安装在真空设备中
新产品 输出波长126nm真空紫外线的照明设备

  波长222nm　照明强度15mW/cm2
MAIL
300毫米高输出照射设备QEF300外观
300mm高输出照明设备
QEF300外观
300毫米高输出照射设备QEF300外观 QEF300外观图
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300毫米高输出照射设备QEF300電源外观図 QEF300电源外观图
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