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准分子紫外线照明设备

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4英寸准分子照明设备  QEF100

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻 / 软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合
  • CVD光等的成膜

规格

电源

设定功率 500W
电源电压 AC100V±10Ｖ, 50Hz／60Hz
外形尺寸 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 8kg

灯箱

灯光 TYPE1 126nm 5mW/cm2
TYPE2 172nm 25mW/cm2
TYPE3 193nm 10mW/cm2
TYPE4 222nm 10mW/cm2
照明窗 100φmm
外形尺寸 360(W)×300(D)×178(H)mm
重量 6kg
冷却 自来水 以及 氮气
MAIL
4英寸照明设备QEF100外观
4英寸照明设备QEF100外观 4英寸照明设备
QEF100外观
4英寸照明设备QEF100電源
4英寸照明设备QEF100外观 QEF100外观图
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4英寸照明设备QEF100電源外观図 QEF100电源外观图
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