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准分子紫外线照明设备

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8英寸准分子照明设备  QEV230

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻/软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合

规格

电源

设定功率 700W／1unit
电源电压 AC100V
外形尺寸 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 8kg

灯箱

灯光 4条 波长172nm
照明强度 10mW/cm2 照明分布±15%
照明窗 230×230mm
外形尺寸 418(W)×568(D)×289(H)mm
重量 18kg
冷却 自来水 以及 氮气

  ※波长222nm　照明强度10mW/cm2
MAIL
8英寸照明设备QEV230外观8英寸照明设备
QEV230外观
8英寸照明设备QEV230外观 QEV230外观图
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6英寸照明设备QEV160電源外观図 QEV230电源外观图
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8英寸高输出照明设备  QEF230

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻 / 软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合
  • CVD光等的成膜

规格

电源

设定功率 1KW／1unit
电源电压 AC200V 3相
外形尺寸 505(W)×545(D)×120(H)mm
重量 18kg
冷却 自来水

灯箱

灯光 172nm波长平板型
照明强度 30mW/cm2 照明分布±5%
照明窗 218×218mm
外形尺寸 450(W)440(D)×185(H)mm
重量 17kg
冷却  
功能

照明度显示屏功能

输出控制功能

可以安装在真空设备中
新产品 输出波长126nm真空紫外线的照明设备

  波长222nm　照明强度15mW/cm2
MAIL
8英寸高输出照射设备QEF230外观 8英寸高输出照明设备
QEF230外观
8英寸高输出照射设备QEF230外观 QEF230外观图
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6英寸高输出照射设备QEF160電源外观図 QEF230电源外观图
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