ダメージレス

コロナ放電/プラズマ方式は放電を直接対象物に当てるため、ダメージが発生してしまいますが、エキシマランプ方式は真空紫外光の照射のみであるためダメージはほとんど発生しません。

処理ムラがない

光を利用するエキシマランプ方式では、放電を利用するコロナ放電/プラズマ方式のような照射ムラは発生しません。エキシマランプ方式は大面積で均一な高い処理効果を実現します。